AMO

2D-EPL-Multiprojekt-Waferlauf Nr. 1

AMO GmbH ist verantwortlich für den ersten Multiprojekt-Wafer (MPW), der im Rahmen des 2D-EPL-Projekts angeboten wird. In jedem Multi-Projekt-Wafer-Lauf können Universitäten, Forschungsinstitute und Unternehmen ihre Bauelemente auf den Dies eines gemeinsamen Wafers kundenspezifisch bearbeiten lassen.

Der erste MPW-Lauf basiert auf dem von AMO entwickelten Basisprozess für Graphen-Feldeffekttransistoren (GFET) und ist hauptsächlich für Sensoren auf Graphenbasis gedacht. Der Prozess umfasst einen Top/Bottom-Kontakt, optional ein lokales oder globales Back-Gate, optional eine Einkapselung mit möglicher Graphen-Flächenöffnung. Das Design des Geräts kann innerhalb der im Datenblatt zusammengefassten Spezifikationen angepasst werden.   Der Lauf bietet auch Optionen für die Raman- und elektrische Charakterisierung von Bauteilen im fertigen Zustand.

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Wichtige Termine

  • 1. Februar 2022: Ausschreibung offen, siehe Spezifikationen unten
  • 30. Juni 2022: Ende der Ausschreibung, Design-Freeze
  • 1. September – 31. Oktober 2022: MPW-Lauf

Kontakt

Portrait of Dr. Gordon RinkeDr. Gordon Rinke
Project Leader 2D-EPL at AMO
Deputy Head of Graphene Electronics Group
rinke@amo.de