AMOs Nano-Fertigungskapazitäten steigen weiter
Am 2. Oktober hat AMO von Oxford Instruments die Lieferung einer neuen 200-mm-Anlage für die Atomlagenabscheidung (ALD) erhalten – gerade rechtzeitig für den Start der 2D-Experimental Pilot Line (2D-EPL). Diese Anschaffung war dank der finanziellen Unterstützung des Ministeriums für Wirtschaft, Innovation, Digitalisierung und Energie des Landes Nordrhein-Westfalen (MWIDE) möglich.