AMOs Nano-Fertigungskapazitäten steigen weiter

Am 2. Oktober hat AMO von Oxford Instruments die Lieferung einer neuen 200-mm-Anlage für die Atomlagenabscheidung (ALD) erhalten – gerade rechtzeitig für den Start der 2D-Experimental Pilot Line (2D-EPL).  Diese Anschaffung war dank der finanziellen Unterstützung des Ministeriums für Wirtschaft, Innovation, Digitalisierung und Energie des Landes Nordrhein-Westfalen (MWIDE) möglich.

„Die neue ALD-Anlage wird AMO und dem Aachener Graphene & 2D Materials Center helfen, die Forschung zu 2D-Materialien näher an den Markt zu bringen“, sagt AMO-Direktor Prof. Max Lemme. In der Tat wird die ALD-Anlage in die 2D-Experimental-Pilotlinie des Graphene-Flaggschiffs integriert werden, ein Großprojekt mit dem Ziel, zu demonstrieren, wie elektronische Geräte auf der Basis von 2D-Materialien auf eine Weise hergestellt werden können, die mit industriellen Standards kompatibel ist.
„Zweidimensionale Materialien haben ein enormes Innovationspotential“, sagt Lemme. „Ihre einzigartigen Eigenschaften können die Grundlage für neue und bahnbrechende langfristige Entwicklungslinien in den High-Tech-Sektoren sein. Es ist genau 10 Jahre her, dass Sir Andre Geim und Sir Kostantin Novoselov den Nobelpreis für die Entdeckung von Graphen – dem ersten und berühmtesten zweidimensionalen Material – erhalten haben. Seitdem ist das Gebiet enorm gewachsen, und es ist nun an der Zeit, die Lücke zwischen der Herstellung im Labormaßstab und der Großserienproduktion von elektronischen Geräten auf der Grundlage zweidimensionaler Materialien zu schließen. Es ist eine große Chance für Europa –  und für die Rheinregion – die Eigenschaften von zweidimensionalen Materialien im Bereich der Mikroelektronik zu nutzen.  Wir sind dem MWIDE sehr dankbar für seine Unterstützung bei diesem Vorhaben“.