Verdampfte Aluminiumoxid (Al₂O₃) Einmoden-Wellenleiter mit weniger als 0,7 dB/cm Ausbreitungsverlust bei 405 nm

Wir freuen uns, unsere neueste Veröffentlichung zu teilen – Glückwunsch an Erstautor Tunahan Gök für seinen Einsatz und die Weiterentwicklung dieser Arbeit.
In dieser Arbeit präsentieren wir Einmoden-Wellenleiter aus verdampftem amorphem Al₂O₃, die Ausbreitungsverluste von nur 0,68 ± 0,03 dB/cm bei 405 nm erreichen. Die Wellenleiter wurden mithilfe einer Cr-Hartmaske und Elektronenstrahllithografie (EBL) auf einer 3 µm dicken SiO₂-Schicht hergestellt und zeigen eine hervorragende Oberflächenqualität (~0,4 nm RMS-Rauheit) sowie enge Biegeradien.
🔬 Diese Ergebnisse unterstreichen das Potenzial von Al₂O₃ für Anwendungen in:
- Quantencomputing mit gefangenen Ionen
- Kompakte UV-Lasersysteme
- UV-Spektroskopie und Mikroskopie
- Biochemische Bildgebung und Sensorik
Titel: Verdampfte Aluminiumoxid (Al₂O₃) Einmoden-Wellenleiter mit weniger als 0,7 dB/cm Ausbreitungsverlust bei 405 nm
Autoren: Tunahan Gök, Dr. Rijil Thomas, Anastasiia Sorokina, Steffen Sauer, Stefanie Kroker, Stephan Suckow und Max Lemme
Diese Arbeit entstand im Rahmen unseres vom BMBF geförderten Projekts ATIQ, in dem wir gemeinsam mit vielen Partnern an Demonstratoren für Quantencomputer mit gefangenen Ionen arbeiten.
🔗 Die vollständige Veröffentlichung ist hier frei zugänglich.








