Neue Pinholes für die Interferenzlithographie
Forscher der AMO GmbH und des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente der RWTH Aachen haben eine neue Klasse von Pinholes implementiert, um die räumliche Homogenität von Laserstrahlen zu erhöhen. Die Laserinterferenzlithographie ist eine kosteneffiziente Nanofabrikationstechnik, die in der Halbleiterfertigung und in der Photonik weit verbreitet ist. Sie basiert auf der Interferenz mehrerer Laserstrahlen, um ein periodisches […]