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Examples of arrays of suspended graphene membranes over closed cavities realized with the method developed by Lukas and coworkers. The membranes are analyzed with an automated SEM tool. Intact membranes are highlighted in green, broken membranes in red.

Herstellung von freitragenden Graphenmembranen mit hohem Ertrag

Forscher des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente der RWTH Aachen und der AMO GmbH haben eine Methode demonstriert,…