AMO

AMONIL®: Hochleistungs UV Nanoimprint Resist

Bei UV Nanoimprint handelt es sich um eine mechanische Formungstechnik. Ein Stempel aus Quarzglas oder einem flexiblen Elastomer mit 3D Relief wird in direkten Kontakt mit UV-ausheilbarem Lack gebracht, welcher sich auf der Oberfläche eines Substrates befindet. Wird geringer Druck bei Raumtemperatur aufgebracht, füllen sich die durch den Stempel vorgegebenen Strukturen aufgrund der geringen Viskosität des Lackes innerhalb von Sekunden vollständig. UV Licht, eingestrahlt über die Rückseite des Stempels, führt zur Aushärtung des Lackes. Anschließend werden Stempel und Substrat entformt. Die abgebildeten Strukturen können dann via RIE-Prozess in das Substrat übertragen werden oder dienen als funktionale Schicht.

Basierend auf der Jahre langen Erfahrung im Bereich Nanoimprint hat AMO einen UV ausheilbaren Lack (AMONIL®) und einen passenden Haftvermittler (AMOPRIME) entwickelt, die kommerziell erhältlich sind.

AMO’s Nanoimprintlack AMONIL®:

Die AMO GmbH beschäftigt sich  in zahlreichen Projekten seit über 15 Jahren mit Forschung und Entwicklung von UV Nanoimprint Lithographie. Basierend auf dieser Erfahrungsgrundlage konnte AMONIL® entwickelt und dauerhaft verbessert werden. Dieser Lack kombiniert hervorragende Beschichtungs- und Imprint Eigenschaften mit exzellenter Profilgenauigkeit und hinreichender Plasmastabilität.

Die Hauptcharakteristika von AMONIL®:

Spezifikation:AMONIL1

  • Viskosität des Basismaterials: 50mPa s
  • Fotoaktivator ausgelegt für UV-Ausheilung
  • Kapäzität für Step&Repeat Zyklen > 1000 Imprints nachgewiesen
  • Erforderliche Dosis: 2J/cm² bei Verwendung einer Quarzform

Eigenschaften:AMONIL2

  • Verwendbar mit Standard Spin Coating
  • Passend für Quarz, PDMS und PFPE Formen
  • Gute Hafteigenschaften auf Siliziumsubstraten
  • Durchschnittliche Hafteigenschaften auf SiO2, Ti, Au, PE
  • Haftung wird stark verbessert durch Verwendung von AMOPRIME zur Substratvorbehandlung
  • Verwendung von AMOPRIME ermöglicht Imprint auf GaAs, GaN, InP, Al2O3

Verfügbarkeit:AMONIL3

  • AMONIL erhältlich in 3 Variationen mit Filmdicken von100 bis 800 nm
  • AMOPRIME als Haftverbesserer verfügbar

Für mehr Informationen siehe FactSheet AMONIL® auf der rechten Seite oder kontaktieren Sie uns direkt für ein konkretes Angebot.