01.03.2017 — 29.02.2020
Faser-Chip
Prozessentwicklung Planarisierungsverfahren, design und Charakterisierung Lichtmanagement und Design und Herstellung photonischer Testchips mit Gitterkopplern
Förderer Funding Agency: BMWK
Förderkennzeichen Grant ID: 16KN062921
