AMO

Forschung

Die Forschungsleistungen bei AMO werden überwiegend in AMICA, dem sog. Advanced Microelectronic Center Aachen, durchgeführt. Der größte Gebäudeblock der AMO, der hochflexible 350 m² große Reinraum, ist mit modernen Lithographie-Instrumenten und Prozessanlagen für Strukturübertragungsprozesse auf der Nanometerskala ausgestattet. Die große Menge an Lithographieinstrumenten und -prozessen bilden das Rückgrat für die Realisierung der Nanostrukturen in verschiedensten Materialien, die erforderlich sind, um die Potentiale der Nanotechnologie auszuloten. Im Rahmen dieser bei AMO erbrachten Forschungsleistungen dient die Nanotechnologie als Einstiegspunkt in den Bereich der Nanoelektronik und der Nanophotonik. Die Konvergenz dieser beiden Forschungsrichtungen in einem Material bzw. in einer multifunktionalen Komponente  bildet den letzten Schritt. Die Potentiale, die aus dieser Konvergenz sowohl für die KET’s als auch für die weiterentwickelten Komponenten hervorgehen, werden insbesondere im Bereich der Sensorik analysiert.

Die vier Hauptforschungsfelder der AMO werden im Folgenden kurz vorgestellt:

Graphen

Photonik

Nanoimprint

Sensor Technologie

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