Nanostrukturierung

Forschung

Nanostrukturierung

Die Fähigkeit, Komponenten mit kritischen Abmessungen im Bereich von wenigen Nanometern herzustellen, ist die Grundlage für die Erforschung neuer Bauelementkonzepte und innovativer Materialien. Bei AMO entwickeln und erweitern wir ständig unsere Anlagen und unser Know-how für die Herstellung von Komponenten im Nanobereich.

Unsere Technologieplattform ermöglicht es uns, schnell und flexibel auf neue technische Entwicklungen zu reagieren. Wir optimieren unsere Nanostrukturierungsprozesse, wobei wir stets ein hohes Maß an Kompatibilität mit industriellen Fertigungsprozessen und eine Skalierbarkeit auf große Produktionsmengen im Auge behalten.

Gruppenleiter: Dr. Ing. Jens Bolten

Projekte

Kontakt

Dr.-Ing. Jens Bolten

Group Leader - Nanostructuring

Eine hochflexible technologische Plattform

Unsere Technologieplattform basiert auf verschiedenen Lithographieverfahren, die flexibel miteinander kombiniert werden können und die es ermöglichen, lithographische Muster mit sehr hoher Präzision zu definieren. Wir verwenden die optische Lithographie als kosteneffiziente Strukturierungsmethode, die Laserinterferenzlithographie für die Strukturierung periodischer Strukturen und die Elektronenstrahllithographie für die höchste Auflösung.

Jedes lithografische Verfahren ist auf einen maßgeschneiderten Strukturübertragungsprozess abgestimmt und kann auf einer Vielzahl von Substraten eingesetzt werden, von herkömmlichen Siliziumwafern über Glassubstrate bis hin zu flexiblen Substratfolien.

Darüber hinaus haben wir ein fortschrittliches Nanoimprint-Lithografieverfahren patentiert, mit dem sich mittels E-Beam definierte Muster kostengünstig auf große Flächen übertragen lassen.

“The more challenging a patterning request is, the more interested we are in giving it a try.”

Dr.-Ing. Jens BoltenGroup Leader Nanostructuring

Laufende Projekte

Förderer Funding Agency:

Alle
BMBF
BMFTR
BMFTR, EU
BMWE
BMWi
BMWK
DFG
EFRE NRW
EU
Land NRW

nanodiagBW P2 U2

nanodiag BW: Nanoporentechnologie für die molekulare Diagnostik der Zukunft - Projekt P2 –Festkörpernanoporen-Analysator

Förderer Funding Agency:

BMFTR

01.04.2026 — 31.03.2029

NeuroSys A1

KI-anwendungsspezifische Technologiereifung memristiver Bauteile

Förderer Funding Agency:

BMFTR

01.01.2025 — 31.12.2027

NeuroSys E

Transferorientierte Gestaltung von Innovationsökosystemen und Geschäftsmodellentwicklung

Förderer Funding Agency:

BMFTR

01.01.2025 — 31.12.2027

NEUROTEC II

Neuro-inspirierte Technologien der künstlichen Intelligenz für die Elektronik der Zukunft im Rheinischen Revier

Förderer Funding Agency:

BMFTR

15.11.2021 — 14.11.2026

Abschlossene Projekte

Förderer Funding Agency:

Alle
BMBF
BMFTR
BMFTR, EU
BMWE
BMWi
BMWK
DFG
EFRE NRW
EU
Land NRW

FMD QNC

Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland

Förderer Funding Agency:

BMFTR

01.12.2022 — 31.12.2025

GREAT

Grating Reflectors Enabled laser Applications and Training

Förderer Funding Agency:

01.03.2019 — 31.01.2024

HEA2D

Herstellung, Eigenschaften und Anwendungen von 2D-Nanomaterialien

Förderer Funding Agency:

EFRE NRW

01.06.2017 — 31.12.2019

Hiperdias

HIgh throughPut lasER-based processing of DIamond And Silicon

Förderer Funding Agency:

01.02.2016 — 01.10.2019

i-EDGE

Nanomechanical Hardware Platforms for Edge Computing

Förderer Funding Agency:

01.01.2023 — 31.12.2026

nanodiagBW – Projekt P2

Nanoporentechnologie für die molekulare Diagnostik der Zukunft

Förderer Funding Agency:

BMFTR

01.04.2023 — 31.03.2026

NeuroSys – Skizze

Neuromorphe Hardware für autonome Systeme

Förderer Funding Agency:

BMBF

01.05.2020 — 31.10.2020

Phase Change Switch

Phase change Materials and Switches for Enabling Beyond-CMOS Energy Efficient Apllications

Förderer Funding Agency:

01.01.2017 — 30.11.2020

Sun-Pilot

Piloting of Innovative Subwavelength Nanostructure Technology for Optical and Injection Moulding Applications

Förderer Funding Agency:

01.01.2018 — 30.06.2022

VirtualSEM

Computerunterstützte Inspektion und Metrologie für Nanofabrikationsprozesse in der Halbleitertechnologie

Förderer Funding Agency:

BMWi

01.08.2015 — 30.09.2017

ZeroAMP

Nanomechanical Switch-Based Logic and Non-Volatile Memory for Robust Ultra-Low Power Circuits

Förderer Funding Agency:

01.01.2020 — 30.06.2024