Reinraumtechnologie

Nanolab AMICA

AMO’s hochflexibler Reinraum der Klasse 10 bis 1000, das Nanolab AMICA, ist mit modernen Lithographie- und Prozessanlagen zur Strukturübertragung auf der Nanometerskala ausgestattet. Sie bilden das Rückgrat für die Realisierung der Nanostrukturen in verschiedensten Materialien, die erforderlich sind, um die Potentiale der Nanotechnologie auszuloten. Mit hochentwickelten Produktionsanlagen für die Halbleitertechnologie können wir den Anforderungen einer hochwertigen Nanofabrikation, einem schnellen Prozesswechsel und unkonventionellen Lösungen gerecht werden.