AMO

RWTH- und AMO-Forscher berichteten über die dielektrischen Eigenschaften und den Ionentransport in geschichtetem Molybdänsulfid

Forscher der AMO GmbH und der RWTH Aachen haben in Zusammenarbeit mit dem Forschungszentrum Jülich und der Universität Siegen Metall/Molybdänsulfid/Silizium-Strukturen untersucht, um den Ladungstransport in solchen Strukturen zu verstehen und das mögliche Potenzial von Molybdänsulfid für den Einsatz als Dielektrikum in vertikalen heterostrukturierten Bauelementen zu untersuchen. Die Arbeit wurde kürzlich in ACS Applied Nanomaterials (DOI: 10.1021/acsanm.8b01412).

In dieser Arbeit wurde ein dampfphasengeschwefelter großflächiger Molybdänsulfidfilm zur Herstellung von Kondensatorstrukturen auf Siliziumsubstraten verwendet. Die Dielektrizitätskonstantenwerte für Molybdänsulfid wurden extrahiert und zeigten das Vorhandensein von mobilen negativen Ionen in Molybdänsulfid. Die Arbeit hat ein fortgeschrittenes Verständnis von Defekten und Grenzflächenzuständen hervorgebracht, die einen wesentlichen Einfluss auf die elektronischen Eigenschaften von Molybdänsulfid haben können.

Die Forschungsarbeiten wurden von der Europäischen Kommission über den Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (HEA2D, 0801002) und dem Graphene Flagship (785219) finanziert.